ZDS-X多路質子流量計控制供氣系統

系統應用：

ZDS-X多路質子流量計控制供氣系統是實現多種氣體不同流量混合配比的供氣系統

設備組成：

多路進氣管路、質子流量計、混氣罐、出氣管路組成

產品特點：

幾路進氣客戶自由定制，標準接口，方便連接

液晶觸摸屏控制輸入每路氣體流量，實時查看各路氣體流量曲線

每條氣路均設置高壓截止閥，方便切斷氣路

技術參數：

氣體通路：X條客戶自由定制

氣體類型：客戶自由選擇

流量計量程：5—500SCCM；1—10SLM自由選擇

工作電壓：220v/50Hz

工作壓差：0.1-0.5MPa

最大壓力：3MPa

準確度：±1.0%F.S

質子流量計相應時間：＜1S

測量范圍：0.1-0.15MPa

混氣罐：304不銹鋼

進出氣接口：直徑6mm不銹鋼卡套接口

管道：內部管道采用直徑6mm不銹鋼管；外部管采用6mm聚四氟管

控制系統：PLC控制系統，液晶觸摸屏輸入，每路氣路獨立控制

FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統

系統應用：

FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統是實現多種氣體不同流量混合配比的供氣系統

設備組成：

多路進氣管路、浮子流量計、混氣罐、出氣管路組成

產品特點：

幾路進氣客戶自由定制，標準接口，方便連接

手動調節浮子流量計，方便快接

每條氣路均設置高壓截止閥，方便切斷氣路

技術參數：

氣體通路：X條客戶自由定制

氣體類型：客戶自由選擇

流量計量程：10-100ml/min；25-250ml/min；50-500ml/min自由選擇

壓力表：-0.1MPa---0.15MPa，0.01MPa/格

混氣罐：304不銹鋼

進出氣接口：直徑6mm

管道：內部管道采用直徑6mm不銹鋼管