單溫區滑桿式PECVD系統由滑竿式真空管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。單溫區滑竿式PECVD系統相對于CVD系統增加了等離子發生器
更新時間：2025-06-11
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